Dispositivo microelectromecánico y su método de fabricación y elementos técnicos de realización.

Elementos de implementación técnica:

4. En vista de los problemas anteriores, se propone la presente invención. La presente invención proporciona una estructura de dispositivo mems novedosa, que puede evitar el uso de vigas en voladizo, tiene mayor durabilidad y tiene una estructura más simple. La presente invención también proporciona un nuevo método de fabricación del dispositivo MEMS, que tiene pasos de proceso simples y puede mejorar el rendimiento de fabricación.

5. Según un ejemplo de realización, un dispositivo microelectromecánico puede comprender: un sustrato aislante; un poste de soporte dispuesto sobre el sustrato, soportando el poste de soporte una masa de prueba; rodeando el sustrato sobre el sustrato Uno o más pares de placas de electrodos dispuestos en el bloque de masa, cada par de placas de electrodos está dispuesto en lados opuestos del bloque de masa; y una placa de cubierta aislante, sobre la que se dispone un par de placas de electrodos correspondientes a uno o más pares de placas de electrodos o múltiples pares de electrodos, cuando la placa de cubierta cubre uno o más pares de placas de electrodos, uno o más pares de electrodos están respectivamente en contacto eléctrico con uno o más pares de placas de electrodos.

6. En algunas realizaciones, el poste de soporte, la masa de prueba y uno o más pares de placas de electrodos están formados por un material conductor o semiconductor, y los cables conductores conectados al poste de soporte están conectados desde un lado del sustrato. Salida, los cables conductores conectados a uno o más pares de electrodos salen de un lado de la placa de cubierta.

7. En algunas realizaciones, la placa de cubierta se forma con una abertura entre uno o más pares de electrodos para exponer el poste de soporte y la masa de prueba.

8. En algunas realizaciones, la altura de la masa de prueba es menor que la altura de uno o más pares de placas de electrodos.

9. En algunas realizaciones, el dispositivo microelectromecánico se usa como un acelerómetro y uno o más pares de placas de electrodos se usan para medir cambios en la capacitancia debido a cambios en la posición de la masa de prueba.

10. En algunas realizaciones, el dispositivo microelectromecánico se usa como un giroscopio, y uno o más pares de placas de electrodos incluyen al menos un primer par de placas de electrodos y un segundo par de placas de electrodos, el primer par de placas de electrodos para un accionamiento se aplica una señal para hacer que la masa de prueba oscile entre el primer par de placas de electrodos, y el segundo par de placas de electrodos se usa para medir cambios en la capacitancia debido a cambios en la posición de la masa de prueba.

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