Método de fabricación del dispositivo MEMS

campo técnico

1. La presente descripción se refiere a un dispositivo mems con distribución de tensión mejorada.

Técnica de fondo:

2. Como es bien sabido, los dispositivos electrónicos mems ("Sistemas microelectromecánicos"), como actuadores y/o sensores, se forman normalmente sobre un sustrato que alberga una cavidad e incluyen estructuras móviles suspendidas de la cavidad superior y limitadas por el elástico. elemento al área fija. El sustrato, la estructura móvil y el elemento elástico pueden ser integrales y normalmente se forman a partir de un material semiconductor como el silicio.

3. Estos dispositivos electrónicos también incluyen: una o más estructuras de actuación y/o detección, acopladas a la estructura móvil; y los circuitos de control eléctrico, integrados en el mismo sustrato o formados en diferentes sustratos y acoplados a la estructura de activación y/o detección pueden proporcionar señales de accionamiento eléctrico a la estructura de activación y/o recibir señales de detección eléctricas desde la estructura de detección.

4. En detalle, la estructura de accionamiento puede provocar el desplazamiento, por ejemplo, la rotación de la estructura móvil cuando es controlada por una señal de accionamiento eléctrica correspondiente. De manera similar, la estructura de detección está configurada para generar señales eléctricas correspondientes que son una función de las condiciones operativas de la estructura móvil y, por ejemplo, una función del rango de rotación de la estructura móvil.

5. El circuito de control eléctrico y la estructura de activación y/o detección normalmente están conectados eléctricamente entre sí mediante pistas conductoras, por ejemplo, formadas a partir de una pila de capas conductoras.

6. Los rieles conductores generalmente se extienden sobre áreas fijas, elementos elásticos y, a veces, parcialmente sobre estructuras móviles.

7. En uso, el desplazamiento de la estructura móvil da como resultado la deformación, por ejemplo, torsión, de los elementos elásticos que limitan la estructura móvil al área fija.

Contáctenos:

Email: zhang@pride-cnc.com

Teléfono: más 86-755-23699351

mafia: más 8618666663894