Dispositivo microelectromecánico y método para fabricar el mismo.

1. La presente invención se refiere a un dispositivo microelectromecánico ya un método de fabricación del mismo.

Técnica de fondo:

2. El dispositivo microelectromecánico (mems) es una tecnología desarrollada integralmente sobre la base de la tecnología microelectrónica, la tecnología de fabricación de semiconductores y otras disciplinas, que integra múltiples campos técnicos como la litografía, la corrosión, la deposición de película delgada, el micromecanizado y el mecanizado de precisión, realizando la miniaturización de dispositivos de precisión para satisfacer las necesidades de diversas aplicaciones. Los dispositivos mems comunes incluyen acelerómetros y giroscopios.

3. Los acelerómetros o giroscopios de mems actuales utilizan principalmente dos o más estructuras de vigas en voladizo para soportar el bloque de masa. El bloque de masa se puede desplazar debido a la aceleración, o se puede impulsar para que oscile, mientras se mide el cambio de capacitancia causado por el bloque de masa. Se pueden medir la aceleración y la velocidad angular. Sin embargo, el proceso de fabricación de la viga en voladizo es complicado, y es probable que ocurra el problema del desequilibrio de tensión entre las vigas en voladizo.

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