Procedimiento para producir un componente micromecanico para un dispositivo sensor o un dispositivo microfono.

Elementos de implementación técnica:

3. La presente invención propone un componente micromecánico para un dispositivo sensor o un dispositivo microfónico con las características de la reivindicación 1, y un método para producir un componente micromecánico para un dispositivo sensor o un dispositivo microfónico con las características de la reivindicación 5.

4. Ventajas de la invención

5. La construcción según la invención basada en al menos una capa de sacrificio de al menos un material de capa de sacrificio aislante eléctricamente del componente micromecánico propuesto por la invención y la misma La configuración según la invención de al menos una región aislante hecha de al menos al menos un material eléctricamente aislante del material de la capa de sacrificio aislante, para configurar la cavidad del componente micromecánico, se puede llevar a cabo un proceso adecuado para la remoción parcial de al menos una capa de sacrificio sin necesidad de preocuparse por dañar o quitar al menos un área de aislamiento. La invención simplifica así el equipamiento del componente micromecánico correspondiente según la invención con al menos una zona aislante ventajosamente adecuada para aislar eléctricamente la estructura de electrodo de la membrana, entre la capa de material de membrana y la capa de material de electrodo. aislar eléctricamente y/o separar al menos una región residual de al menos una capa de sacrificio de la cavidad. La invención mejora así el componente micromecánico según la invención en comparación con el estado de la técnica y además contribuye a reducir los costes de mano de obra y el coste de fabricación del componente micromecánico según la invención para producir el componente micromecánico según la invención.

6. La al menos una región aislante para separar la al menos una región residual de la al menos una capa de sacrificio puede actuar en particular como una "protección contra grabado" contra el grabado no deseado de la al menos una región residual durante la construcción de la cavidad. Al mismo tiempo, se logra al menos una zona aislante construida a partir de al menos un material eléctricamente aislante para separar al menos una zona residual.

Contáctenos:

Email: zhang@pride-cnc.com

Teléfono: más 86-755-23699351

mafia: más 8618666663894