Un sistema de nanocompuestos y un método para investigar nanomateriales

1. La presente invención se relaciona con el campo de los equipos de investigación científica de nivel de investigación en nanociencia y, en particular, con el campo de un sistema integrado a nanoescala y un método para investigar nanomateriales.

Técnica de fondo:

2. La nanociencia es una ciencia que estudia las leyes de la física dentro de los 100 nanómetros, y su desarrollo es inseparable del desarrollo y los avances en el campo de los equipos de investigación científica. Los tipos de equipos de investigación nanocientíficos comúnmente utilizados incluyen equipos de procesamiento micro-nano, como máquinas de litografía, máquinas de exposición a haces de electrones, etc., equipos de control de propiedades físicas, como equipos para cambiar las propiedades electroópticas de las muestras, etc. , y equipos de caracterización de propiedades físicas, como microscopio de fuerza atómica, mesa de agujas de sonda, espectrómetro, etc.

3. Sin embargo, las funciones del equipo único de investigación científica mencionado anteriormente son relativamente simples. Por ejemplo, la función principal del equipo de procesamiento micro-nano es procesar la estructura micro-nano de la muestra, y es imposible observar y caracterizar directamente la estructura micro-nano procesada. Se toman buenas muestras del dispositivo para su posterior caracterización. Por otro lado, el equipo de caracterización de propiedades físicas no puede realizar la nanofabricación de muestras ni controlar las propiedades físicas de las muestras, y solo puede proporcionar la caracterización de muestras que han sido procesadas o muestras cuyas propiedades físicas han sido ajustadas. En particular, la regulación de las propiedades ópticas y eléctricas de una muestra a menudo no es permanente, transitoria y cambia dinámicamente con el entorno y el tiempo de la muestra. Por lo tanto, es muy importante realizar un control de la propiedad física en tiempo real in situ y una caracterización de la propiedad física de la muestra, y es la clave para saber si se puede observar la ley de cambio del fenómeno físico transitorio de la muestra.

4. En la actualidad, la combinación de equipos de investigación científica puede resolver algunos de los problemas anteriores, como la combinación de microscopía de fuerza atómica y espectroscopía Raman, que pueden caracterizar simultáneamente las propiedades físicas de la morfología de la muestra y la espectroscopía Raman; microscopía de fuerza atómica y pruebas eléctricas La combinación de la plataforma puede realizar la caracterización de propiedades físicas de la morfología y las características de transporte eléctrico de la muestra al mismo tiempo. Sin embargo, el efecto de la simple superposición y combinación no es ideal, y todavía es imposible realizar el procesamiento micro-nano, el control de propiedades físicas y la caracterización de propiedades físicas in situ de la muestra al mismo tiempo, lo que limita en gran medida la investigación sobre las propiedades físicas básicas de los nanomateriales y la investigación y desarrollo de nanodispositivos. con la fabricación.

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