Dispositivo de embalaje tridimensional de sensor MEMS y elementos de realización de tecnología de proceso y método de embalaje tridimensional

Elementos de implementación técnica:

5. El problema técnico a resolver por la presente invención es: con el fin de superar las deficiencias del estado de la técnica, se proporciona un dispositivo de empaquetado tridimensional del sensor mems.

6. La solución técnica adoptada por la presente invención para resolver los problemas antes mencionados es: un dispositivo de embalaje tridimensional para un sensor mems, que comprende un banco de trabajo, y una pista está dispuesta de forma fija en la parte superior del banco de trabajo, y la pista está dispuesto paralelo a las direcciones izquierda y derecha, y la pista Una lente está dispuesta justo encima de la parte superior, y la lente está conectada de forma fija a la mesa de trabajo, un dispositivo de transporte de sustrato y un dispositivo de limpieza están dispuestos en la pista, un dispositivo de montaje es dispuesta sobre la pista, y el dispositivo de montaje está ubicado en el lado derecho del dispositivo de limpieza. lado;

7. El dispositivo de colocación incluye un mecanismo dispensador, un mecanismo de succión y dos mecanismos de traslación. Los dos mecanismos de traslación están ubicados en el lado frontal y en el lado posterior de la lente respectivamente. El mecanismo de dosificación y el mecanismo de succión se distribuyen con el movimiento de los dos mecanismos de traslación. conexión parcial, el plano

Contáctenos:

Email: zhang@pride-cnc.com

Teléfono: más 86-755-23699351

mafia: más 8618666663894