Método de fabricación del chip del sensor de conducción ósea

1. La presente tecnología se relaciona con el campo técnico de los dispositivos de sistemas microelectromecánicos (mems), en particular con un chip sensor de conducción ósea.

Técnica de fondo:

2. Con el rápido desarrollo de la tecnología mems, surgió el chip sensor de conducción ósea mems (en lo sucesivo, chip sensor de conducción ósea). Un chip sensor de conducción ósea convencional normalmente incluye una placa trasera y una membrana vibratoria dispuestas de forma opuesta, y una masa está suspendida en el lado de la membrana vibratoria alejado de la placa trasera. El bloque de masa siente la vibración ósea generada por la vibración de las cuerdas vocales y genera vibración mecánica. La vibración mecánica del bloque de masa hace que la membrana vibratoria vibre, cambiando así la distancia entre la placa posterior y la membrana vibratoria, y luego cambiando la señal de capacitancia, para realizar la detección de la señal de sonido. . Sin embargo, la sensibilidad del chip sensor de conducción ósea convencional no es muy estable, lo que limita su campo de aplicación.

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